Recent #EUV news in the semiconductor industry
EUV（Extreme Ultraviolet Lithography 极紫外光刻 ）是一种先进的光刻技术，用于半导体制造过程中精确刻画纳米级图案。EUV光刻使用13.5nm波长的极紫外光，相较于传统的深紫外光DUV光刻技术，EUV光刻能够实现更高的图案分辨率，有效推进半导体工艺节点的缩小。当前EUV市场ASML一家独大。
05/08/2025, 10:48 AM UTC
ASML加速荷兰50个足球场规模超级园区扩建计划ASML accelerates 50-football-fields-size mega expansion plans in the Netherlands
➀ ASML宣布加速荷兰Brainport工业园扩建计划，目标从原定的2030年提前至2028年投入运营；
➁ 新园区面积达35.7万平方米（约50个足球场），毗邻埃因霍温机场，获荷兰政府17亿欧元资助，配套交通与能源设施升级；
➂ 扩建旨在缓解EUV光刻机产能瓶颈，但电网负荷、氮排放及土地收购问题仍待解决。
05/04/2025, 11:00 PM UTC
电子束模糊度与产率变化对极紫外光刻胶随机波动的影响Impact of Varying Electron Blur and Yield on Stochastic Fluctuations in EUV Resist
➀ 更新的EUV随机模型引入局部变化的电子束模糊度，揭示电子产率分布导致的缺陷率升高，颠覆了传统固定参数假设；
➁ 蚀刻工艺通过蚀刻偏置影响随机缺陷，化学放大光刻胶中的酸扩散加深模糊效应；
➂ 针对40nm以上节距，深紫外线(DUV)多重曝光在成本和光子密度上优于极紫外(EUV)方案。
05/01/2025, 12:49 PM UTC
南安普顿大学安装电子束光刻机Southampton Uni instals EBL machine
➀ 南安普顿大学引进JEOL JBX-8100 G3电子束光刻机，可在10μm厚光刻胶中实现亚5纳米结构加工；
➁ 该200kV设备支持电子位移技术，适用于电子、光子及生物纳米领域，2024年底将新增支持300mm晶圆 的JEOL JBX-A9机型；
➂ 获EPSRC资助的实验室集成扫描电镜与深紫外光刻技术，采用Genisys软件实现±9纳米套刻精度，提供联合研究支持。
05/01/2025, 03:20 AM UTC
中国突破EUV光源瓶颈，构建新实验平台China Breaks EUV Light Source Barrier, Builds New Experimental Platform
➀ 中国在半导体研究方面取得了突破，建立了完整的EUV光源实验平台；
➁ 上海光机所在EUV开发项目中实现了3.42%的峰值能量转换效率；
➂ 这项进展凸显了中国在面临日益增加的美国出口限制时坚 持技术独立性的决心；
➃ 中国已成为ASML最大的单一市场，占总销售额的36.1%。
04/16/2025, 02:43 PM UTC
在卡尔斯鲁厄应用科学大学（HKA）开发出特别可持续和能源自给自足的电动自行车终端Prototype of a Particularly Sustainable and Energy-Autonomous E-Bike Terminal Developed at HKA
➀ 卡尔斯鲁厄应用科学大学（HKA）开发了一个电动自行车终端原型，作为可持续发展交通项目的一部分；
➁ 该终端主要使用可再生资源（木材）建造，并设计成可在其他地点复制；
➂ 项目包括太阳能系统为电动自行车充电，并设有学生和教职工的聚会点等社会组成部分。
04/15/2025, 01:48 PM UTC
利用硅烷化六方氮化硼增强壳聚糖薄膜的可持续应用Enhancing Chitosan Films with Silanized Hexagonal Boron Nitride for Sustainable Applications
➀ 本研究探讨了壳聚糖-硅烷化六方氮化硼（hBN）纳米复合薄膜的开发；
➁ 研究重点关注其结构、机械和阻隔性能；
➂ 研究旨在提高生物可降解聚合物薄膜的性能，克服壳聚糖的局限性。
04/14/2025, 05:28 AM UTC
白骑士拯救信越电子White Knight to save Shibaura
➀ 慧荣科技宣布了对热敏电阻专家信越电子的收购要约，以保护其免受来自台湾亿智光电子的敌意收购；
➁ 信越电子在全球热敏电阻市场占有13.5%，是汽车、风力涡轮机和工业机器人等领域的关键玩家；
➂ 亿智光电子计划于5月7日提出收购要约，每股报价29美元，但慧荣科技提出每股31美元，总报价为4.85亿美元。
04/14/2025, 12:00 AM UTC
埃德与关税过山车Ed Rides The Tariff Roller-Coaster
➀ 埃德在日记中透露，关税问题让他感到自豪，他预见到这将是Liz Truss故事 的翻版，并相应地应对。
➁ 到周二晚上，关税已使全球股市价值蒸发10万亿美元，而到周四早上，股市又上涨了6万亿美元。
➂ 所有金融人士都说，当政府债券开始抛售时，总统将改变方向，就像Liz在她预算后大量出售金边债券时那样。
04/10/2025, 05:30 AM UTC
三星瞄准1nm工艺，2029年量产Samsung going for 1nm
➀ 根据首尔经济日报报道，三星已成立团队，利用高数值孔径EUV光刻机开发1nm工艺技术，以在2029年实现量产。
➁ 目前尚不清楚三星是否订购了ASML价值3.5亿美元的先进EUV光刻机。
➂ 三星否认了取消1.4nm工艺开发的报道，同时承认项目延期，并透露有将资源转移到2nm工艺的传言。
04/09/2025, 08:06 AM UTC
电子束企业SEC瞄准HBM、TGV和4680电池以寻求未来增长E-beam firm SEC eyes HBM, TGV, 4680 battery for future growth
电子束设备制造商SEC，以其供应X射线检测系统而闻名，不仅是一家X射线设备制造商。该公司利用其电子束技术提供更具成本竞争力且设计灵活的非破坏性检测平台。SEC首席执行官Jongh讨论了公司的未来增长策略。
04/09/2025, 04:36 AM UTC
NanoZoomer® MD系列图像采集软件正式发布，实现集中控制Image Acquisition Software Launch for Centralized Control of NanoZoomer® MD Series
➀ 汉密尔顿光电欧洲宣布推出NZConnectMD Scan图像采集平台，用于数字病理学工作流程。
➁ 该软件允许集中控制多个NanoZoomer MD系列扫描仪。
➂ 主要功能包括基于条码的玻片追踪、工作流程平衡和空间优化。
04/08/2025, 01:00 PM UTC
DRAM边缘最小间距金属的拼接多图案技术Stitched Multi-Patterning for Minimum Pitch Metal in DRAM Periphery
➀ 在DRAM芯片中，存储阵列密集排列，但阵列外部则失去了规律性。
➁ 通过布局分割实现的双图案拼接可以达到间距均匀。
➂ 对于低于40 nm的最小间距，可以使用三重图案，四重图案可能被三重图案所取代。
04/03/2025, 11:25 AM UTC
特朗普创建美国投资加速器办公室管理芯片法案并寻求更好的交易Trump creates U.S. Investment Accelerator to manage CHIPS Act and 'negotiate much better deals'
➀ 美国总统唐纳德·特朗普签署了一项行政命令，创建美国投资加速器办公室；
➁ 该办公室旨在为纳税人谈判更好的交易；
➂ 担心此举对现有合同和奖项的影响。
04/01/2025, 12:17 PM UTC
利用CNF@CTAB-MXene/PTFE Janus膜进行水净化和能源生成Water Purification and Energy Generation Using a CNF@CTAB-MXene/PTFE Janus Membrane
➀ 最近的一项研究介绍了一种用于水净化和能源生成的Janus膜，旨在解决水资源短缺和能源需求问题；
➁ 该膜使用纤维素纳米纤维（CNF）和经过改性的MXene，以提高较长时间内的性能；
➂ 与传统膜相比，Janus膜表现出更好的性能，实现了高蒸发速率和光热转换效率，并有效防止盐沉积。
