在半导体行业迎来chiplet(小芯片)革命之际,英特尔Foveros 2.5D封装技术展现了三大突破性创新:首先,其36微米微凸点间距的面贴面连接技术,相比传统C4凸点缩小80%,实现了超过3,000根/mm²的互连密度,能够直接在晶圆级完成oxide-to-oxide分子键合,将die-to-die延迟控制在0.3pJ/b以下。
其次,Foveros通过base die(基础芯片)的TSV通孔设计,可堆叠4层有源芯片,支持包括CMOS、SOI、III-V族化合物在内的混合工艺集成。在实际测试中,这种3D堆叠方式使得LPDDR5X与CPU之间的数据传输带宽提升了4倍,功耗却降低了40%。
值得关注的是,Intel Foundry提供的三个技术分支:Foveros-S采用硅中介层实现单颗基板上多颗HBM与计算芯片的整合;Foveros-R通过3层重布线层(RDL)实现无中介层封装,将成本压缩30%;而Foveros-B则集成active bridge技术,为未来实现3D缓存分层和集成式电压调节模块奠定基础。
该技术与UCIe 1.1标准完全兼容,支持最高32GT/s的Adatper接口,通过改进的clock forwarding机制,在跨厂商chiplet集成时也能保持1.6Tbps/mm的互连带宽。结合EMIB技术形成的3.5D封装方案,可突破reticle limit至4倍,正在为下一代AI加速器构建支撑1024个chiplet的超大规模异构计算系统。